美高梅mgm59599在美国硅谷从事半导体行业20多年的

2019-11-03 03:18 来源:未知

放弃百万美元年薪毅然回国 他的研发成果让中国芯片制造实现赶超

在美国硅谷从事半导体行业20多年的尹志尧,在世界最大的百亿美元的半导体设备企业——美国应用材料公司担任总公司副总裁,曾被誉为“硅谷最有成就的华人之一”。  然而,13年前,60岁的尹志尧放弃了美国的百万年薪,回国创业,他要在芯片制造设备领域与国际巨头直接竞争,取得一席之地。  打破格局!颠覆核心技术!  近日,央视报道了这样的一则消息,中微半导体设备公司将在今年年底正式敲定5nm刻蚀机!  当所有的巨头还在为10nm,7nm技术大肆进军的时候,中国中微正式宣布掌握5 nm技术。措手不及,难以置信!万万没想到,这就如同当初很多人难以相信中国高铁技术能自主研发并成为世界第一那样!  但他们殊不知早在五年前,中国中微就已经开始卧薪尝胆,中微CEO尹志尧更是说道,要做就做世界第一!  在我看来,中微能做到一点不奇怪。中微就像一个隐形的巨人一般一直潜伏着,而尹志尧更是点燃星火的人。  在没回中国前,尹志尧一直在美国硅谷从事半导体行业,在世界最大的百亿美元的半导体设备企业——美国应用材料公司担任总公司副总裁,曾被誉为“硅谷最有成就的华人之一”,参与了美国几代等离子体刻蚀机的研发,在半导体行业20多年,拥有60多项技术专利。  然而在2004年,60岁的尹志尧毅然放弃了美国的百万美元的年薪,冲破美国政府的层层审查,所有的工艺配方、设计图纸都被美国没收。带领着三十多人的团队回到中国。只因一句,学成只为他日归来,报效祖国!势必要为中国半导体事业做出贡献!  今天的这一宣布,正式意味着中国半导体技术将实现弯道超车,更意味着外企垄断的时代宣告结束!  如果说在工业化时代,钢铁是工业的“粮食”,那么在如今的信息化时代,“芯片”则就是现代工业的“粮食”。  即便是能够自主设计顶级麒麟芯片的华为,其也要让台湾企业台积电代工!因为在中国内地,大多数半导体公司目前仅掌握着生产40nm和28nm规格的技术。跟当今世界上最高规格的10 nm半导体技术整整差了三代!  今天,中微终于在核心技术上突破了外企垄断的局面,这也是中国半导体技术第一次占领至高点!这是中国半导体历史上最重要的一笔,更是中国半导体的重要时刻!  一个人一辈子能做成一件事已经很不简单了,为什么?中国13亿人民,我们这几个把豆腐磨好,磨成好豆腐,你那几个企业好好去发豆芽,把豆芽做好,我们13亿人每个人做好一件事,拼起来我们就是伟大祖国。这是任正非在全国科技创新大会上说的一句话!  是的,建设科技强国时不我待!只有每个领域的人专心致志的做好每个领域的事,才能实现弯道超车!中微在去年的营收同比增幅高达30.3%,研发投入占到营收的12%-13%,比华为占比还多。  我们相信华为之后,中微同样会成为其领域最闪耀的星星。  而这一切,真正发生!!!

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当华为的麒麟970芯片准备跟苹果的A11展开手机AI新时代争夺战时,很多人都在惊呼国产芯片进步的速度,然而却很少有人知道是一个海归中国人将中国的芯片制造能力缩短了三代距离。

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科创板挂牌启幕,我们对科创板上市申请中有故事有亮点的芯片半导体企业进行一系列深度报道。此前,我们已报道过澜起科技(净利润暴涨221倍,两次创业成功,澜起科技冲击科创板芯片第一股)。

不久前,央视报道了这样的一则消息,中微半导体设备公司将在今年年底正式敲定5nm刻蚀机!而刚刚发布的苹果A11芯片以及华为的麒麟970均是使用10nm工艺。

7月2日,中微半导体科创板IPO注册获证监会通过。

当所有的巨头还在为10nm,7nm技术大肆进军的时候,中国中微正式宣布掌握5 nm技术,让对手措手不及,难以置信!原来一直在这一领域没有任何话语权的中国内地半导体企业能够弯道超车!

面对全球半导体市场强手如云,这是我国极少数能与国际顶尖半导体设备公司在技术上分庭抗礼,还不断扩大市占率的公司。

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当芯片制造巨头们在先进芯片制程工艺的研发上一路狂奔,刚开启7nm的商战,又敲响5nm的战鼓,像中微半导体这样的半导体设备公司是极为重要的幕后功臣。

已年过七旬的尹志尧看起来依然年轻

中微半导体以高端刻蚀机为专长,早在28nm工艺时代就已与全球晶圆代工第一大厂台积电合作,一直延续至10nm、7nm制程,成为唯一打入台积电7nm制程生产线的大陆本土刻蚀设备商。

而在中微这个隐形的巨人背后,如今已年过七旬的尹志尧就是那个点燃星火的人。

另据去年年底的消息,中微半导体自研的5nm等离子刻蚀机即将挺进台积电5nm制程生产线。

坐拥60多项专利 它是掌握西方芯片核心科技的技术狂人

中微半导体同样也是联电、中芯国际等晶圆代工大厂的重要合作伙伴。

在美国硅谷从事半导体行业20多年的尹志尧,曾任AppliedMaterials应用材料公司的副总裁。91年,尹志尧来到应用材料公司,负责同一领域的研究开发工作,先后获得了60多个美国和国外的专利。尹志尧开发或参与开发的产品,现在在这个领域大概占了全世界的50%。另外,还帮助成立了硅谷中国工程师协会,并担任了头两任的主席。被誉为硅谷最有成就的华人之一。

而在辉煌成绩的背后,中微半导体曾经历过漫长的苦旅。

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先是回国路上被美国拦截,创业初期连被两大国际半导体刻蚀设备巨头提起专利诉讼,近年在MOCVD领域异军突起后,又与MOCVD国际巨头陷入新的专利纠纷。

尹志尧曾被认为是硅谷最成功的华人代表

而面对国际巨头挑起的连连纷争,中微半导体每每令人意外地从容,在迄今为止的每一场专利官司,它还没有败下阵过。

考虑到给外国人做嫁衣,已经做了很多事情了,高新技术的本土化成为了他创业的初衷。2004年尹志尧回国创办中微半导体时已经60岁,当时的出租车司机说他只有38岁,他说太好了,以后自己就是38岁的人。他一直保持着年轻人的活力,一天工作超过16个小时成为家常便饭。

如今,中微半导体凭借极其深厚的技术功底,逐渐走到新的历史节点。

这位先后在硅谷英特尔、LAM、应用材料三家公司工作逾20年,继而回国创业将近10年的古稀老人依然奋战在研发一线。中微半导体设备有限公司CEO尹志尧30年间见证了中西集成电路发展的兴荣。

美高梅mgm59599 6美国施压,美企叫板" style="width:60%;margin:1rem auto">

国产芯片制造工艺整整落后巨头三代

{"type":1,"value":"创立早期5年,中微半导体过得相当坎坷。

如果说在工业化时代,钢铁是工业的“粮食”,那么在如今的信息化时代,“芯片”则就是现代工业的“粮食”。中国的芯片行业一直流传着这样一句话,除了水和空气以外,其它全是从国外进口的。

尹志尧于1944年在北京出生,就读于北京四中,1962年考入科大化学物理系,1968年被分配到兰州炼油厂。1980年获北大化学系硕士学位,赴美国加州大学洛杉矶分校攻读物理化学博士。

即便是能够自主设计顶级麒麟芯片的华为,其也要让中国台湾企业台积电代工!因为在中国内地,绝大多数半导体公司目前仅掌握着生产40nm和28nm规格的技术。跟当今世界上最高规格的10 nm半导体技术整整差了三代!

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台积电虽然已经到中国大陆投资设厂,但按照台湾方面的要求,台积电大陆工厂的技术必须落后台湾三代。因此,可以说,中国芯片制造「痛之久已」。

中微半导体创始人、董事长及总经理尹志尧博士

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2004年,尹志尧60岁,此时的他,已经是半导体设备领域久经沙场的行业老兵,从业时长接近30年,曾在常年霸占全球半导体设备前三甲的泛林半导体和美国应用材料公司身居高位。

长期以来中国内地的芯片制造落后欧美很大距离

此时,心里那颗想要回国的种子,终于冒出了萌芽。

毫无疑问,一直以来,中国的半导体技术在市场上是完全没有竞争力的!但是不攻占这一领域,中国永远谈不上制造强国。核心技术上一旦长期受制于人,那么大量的利润,以及市场的话语权都会给别人占据!

2004年,尹志尧带着30多人的优秀团队,返回中国,但回国之路远比想象更加艰辛——美国出手了。

研究显示,2015-2020年中国半导体芯片产业投资额将达到650亿美元,其中芯片制造设备投资额就将达到500亿美元。但是中国芯片制造设备的95%都是依赖于进口,也就是说需要花480亿到国外购买设备。这也使得中国芯片制造设备的国产化成为了一件非常迫切的事情。

人走可以,东西必须留下,美国安全部门将其600多万个文件和电脑资料全部没收。

毅然回国 填补国产芯片制造领域空白

没有工艺配方,没有设计图纸,尹志尧与团队回到祖国时,两手空空如也,一切从零开始。

13年前,当时已经60岁的尹志尧放弃了美国的百万年薪,带领三十多人的团队,冲破美国政府的层层审查(所有人都承诺不把美国的技术带回中国,包括所有工艺配方、设计图纸,一切从零开始),回国创办了中微半导体,他要在芯片制造设备领域与国际巨头直接竞争,取得一席之地。

就在这样的背景下,2004年5月31日,中微半导体在上海成立,深耕刻蚀机领域。

尹志尧带着30多人的团队回到中国,只因为一句话:「学成只为他日归来,报效祖国」。

而这只是磨难的开端。

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刚成立的中微半导体,遇到了集成电路工艺正从铝导线转移向铜导线的时间节点,金属刻蚀的需求逐渐萎缩,中微意识到介质刻蚀设备将成为未来的主流,于是以此为突破口投入大量研发。

一切从零开始,凭着过去20多年的经验和基础技术支持,尹志尧和他的团队很快就开发出了第一台国产的生产半导体芯片的设备-------等离子体刻蚀机

这是一场不对称的竞争,中微起步之时,全球半导体设备已经被三大寡头割据超过90%的市场。

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可即便如此,国际巨头们并没有对中微半导体的起势掉以轻心。

等离子体刻蚀机是芯片加工的关键设备

2007-2009年期间,正值中微半导体研发12英寸芯片刻蚀机,准备进入国际一流芯片生产线时,两家国际巨头芯片设备公司先后找上门来,起诉中微半导体专利侵权。

等离子体刻蚀机是在芯片上进行微观雕刻,刻出又细又深的接触孔或者线条,每个线条和深孔的加工精度是头发丝直径的几千分之一到上万分之一。

首先发难的是尹志尧的老东家——美国应用材料公司,起诉中微半导体侵权后,应用材料却始终拿不出有力的证据。

“在米粒上刻字的微雕技艺上,一般能刻200个字已经是极限,而我们的等离子刻蚀机在芯片上的加工工艺,相当于可以在米粒上刻10亿个字的水平。”尹志尧这样形容到。

中微半导体适时反诉对方不正当竞争,令应用材料措手不及,最终撤诉求和。

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2009年,另一巨头美国科林研发突然发难,在台湾起诉中微侵犯其发明专利。

70多岁高龄的尹志尧依然奋战在研发一线

科林研发比应用材料更加难缠,它先后多次在台湾向中微半导体提起专利诉讼,屡败屡战,屡战屡败。

据介绍,一个16nm的微观逻辑器件有60多层微观结构,要经过1000多个工艺步骤,要攻克上万个技术细节才能加工出来。只看等离子体刻蚀这个关键步骤,它的加工尺度为普通人头发丝的五千分之一,加工的精度和重复性要达到五万分之一。

有了前车之鉴的中微半导体未雨绸缪,已经做了大量知识产权预警分析和排查工作,面对科林研发的挑事更加游刃有余。

中微在刚刚涉足IC芯片介质刻蚀设备时,就推出了65nm等离子介质刻蚀机产品,随着技术的进步一直做到45nm、32nm、28nm等,现在16nm的蚀机产品已经在客户的生产线上运行了。

在科林研发第一次发起诉讼时,中微半导体仅用不到1个月的时间,就决定“以攻为守”,提交大量证据主张科林的两项专利无效。

据了解,在过去9个多月时间里,中微的反应台交付量已突破400台;单反应台等离子体刻蚀设备已交付韩国领先的存储器制造商;双反应台介质刻蚀除胶一体机研制成功,这是业界首次将双反应台介质等离子体刻蚀和光刻胶除胶反应腔整合在同一个平台上。

2017年3月,中微半导体在诉科林研发侵犯商业秘密案一审判决中取胜,法院判科林赔偿中微90万元人民币。

5年四胜 从容应对国际巨头技术缠诉

然而风暴还未停息,2017年11月初,美国MOCVD设备巨头宣布,美国纽约东区地方法院同意了一项初步禁令请求,禁止SGL出售采用Veeco专利技术的MOCVD使用的晶圆承载器,包括专为中国MOCVD设备商中微半导体设计的石墨盘。

或许正是由于中微在半导体设备领域的突飞猛进,也引来了两家国外竞争对手挑起的知识产权诉讼。不过,凭借过硬的自主技术专利,中微接连获得的胜利。

Veeco此举针对的正是中微半导体。

2008年前后,正当中微公司自行开发12英寸芯片刻蚀机,准备进入国际一流芯片生产线时,两家国际巨头芯片设备公司找上门来。

中微半导体做了两手准备,一边积极发展第二、第三渠道供应商,另一边,同年7月在福建高院起诉Veeco上海专利侵权。12月,中微半导体胜诉。

2007年中微在美国被行业巨头应用材料公司起诉侵权,但却始终举证无力,中微则抓住机会适时反诉对方不正当竞争,应用材料公司显然对这一情况准备不足,最终不得不撤诉求和。

长达11年的专利纠纷,最终以中微半导体的大获全胜告一段落。

2009年另一巨头美国科林研发又在台湾起诉中微侵犯其发明专利,由于中微半导体在前期已作了大量的知识产权预警分析和准备工作,所以,仅用不到一个月时间,公司就决定“以攻为守”,向法院提交了大量证据,采用“釜底抽薪”的做法,主张科林公司两项专利无效。同时,企业还向台湾智慧财产局主张科林公司的专利无效。

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2018年3月,在去年3月央视《中央财经报道》栏目中,尹志尧面带微笑,眉眼含着热情,看起来还像是四五十岁的样子:“我们给外国人做嫁衣,已经做了很多遍事情了,那我们应该给自己祖国的人民,做一些贡献。”

2009年9月8日,台湾智慧财产法院一审判决科林公司专利无效。中微半导体很快接到了台积电的订单。此后,中微半导体又在科林公司上诉的二审中获胜。在台湾智慧财产局的交锋中,中微半导体以充足的证据,使得科林公司的聚焦环配置专利于2011年被宣布无效,密封环专利也被宣布无效,扫除了产品进入台湾市场的知识产权障碍。

美高梅mgm59599 14专利超950件,打破技术垄断" style="width:60%;margin:1rem auto">

攻坚突破5nm工艺 力图打破欧美技术垄断

{"type":1,"value":"中微半导体在专利拉锯战中的不败战绩,与其长期雄厚的技术实力密不可分。

如今,中微正在开发开发5纳米芯片制造设备意欲打破德美垄断。这个技术要求芯片上的均匀度达到0.5纳米,相当于原子水平。目前世界上投入最先进的芯片是10纳米,而中国能够量产最新的芯片还在40纳米和28纳米,和国际最尖端的水平还差3代。在这个高度竞争的行业,谁能够在技术上领先,谁就能占领市场。

中微向科创板提交的招股书显示,截至到2019年2月28日,中微半导体已申请1201项专利,获得951项专利授权,其中发明专利800项。

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